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地址： 青島市膠州市上合示范區(qū)閩江路60號
設(shè)備名稱 自動(dòng)顯影機(jī) 品牌型號 MAX100SVS
設(shè)備用途
通過高速旋轉(zhuǎn)的電機(jī)帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，結(jié)合自動(dòng)噴涂顯影液和背洗，從而實(shí)現(xiàn)晶圓的顯影工藝。帶有自動(dòng)熱板和冷板。
主要技術(shù)指標(biāo)：
可用晶圓尺寸：2inch 3inch
最大轉(zhuǎn)速：4500rpm
轉(zhuǎn)速偏差：±5RPM
熱板溫度范圍： 室溫-160℃
冷板溫度范圍：室溫-25℃
顯影均勻性：5%
