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設(shè)備名稱 :等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD
品牌型號(hào): SAMCO PD-220NL
設(shè)備用途
主要用于二氧化硅和氮化硅介質(zhì)膜沉積
主要技術(shù)指標(biāo)：
氣體：SIH4 CF4 PN2 NH3 N20 O2
沉積速率：> 30nm/min
均勻性：片內(nèi)小于±5%，片間小于±5%，批次小于±5%
